IC-CCU

 

Instruments Center at National Chung Cheng University.
國立中正大學貴重儀器中心

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 SPM

 掃描探針顯微鏡【Scanning Probe Microscopy】

 

 技術人員:林詣班 同學 (05)2720411 轉 23356

 E-mail:linbenlinben1015@yahoo.com.tw

 

 指導教授:鄭友仁 博士 (05)2720411 轉 33301

 E-mail:imeyrj@ccu.edu.tw


儀器概述:
Scanning Probe Microscope:
1. 對導體及絕緣體均有三維空間的顯影能力,為最廣泛的掃描探針顯微儀。
2. 本儀器藉由探針輕敲方式來量測試片表面的幾何形貌。
3. 試片與探針之間的作用力會使懸臂樑產生偏移,激發一雷射光至懸臂樑上而後反射至接收器,而接收器會將雷射訊號以二維函數儲存並形成原子力圖。
4. 利用原子之間的凡得瓦力(Van Der Waals Force)作用來呈現樣品的表面特性,具有原子級的解析度,是各種薄膜粗糙度( roughness)檢測及微觀表面結構研究的重要工具。
5. 精準估算材料表面型貌,並擷取2D與3D 之表面結構影像,亦可降低不必要之濾波動作。

服務項目:
1. 代測原子等級薄膜之材料表面特性。
2. 針對各式樣品擷取2D與3D 之表面結構影像。
3. 可量測一剖面之高低差距與水平距離。
4. 一原子力圖的範圍可從奈米(nm)到微米(um)等級,可依需求調整。

取樣應注事意項:

1. 所有樣品均由本中心代為服務操作,預約者請在實驗三天前填寫申請表格,說明樣本觀察部位,經過技術人員審核。
2. 本儀器為先進之精密設備,為維護儀器之性能,在切割服務中,若有可能污染儀器,拒絕受理不適合之試片。
3. 試片直徑適合大小約在2.5cm以內,高度在1cm以內。若為特殊尺寸,請事先與技術人員聯繫確認是否適合進行實驗。
4. 分析測試時,若發現送測樣品不符合樣品材料之規定,無法進行實驗,將退回樣品並扣該時段費用。
5. 若因試片處理不當造成機台損壞或污染,須負賠償責任,賠償費用由原廠評估。
6. 第一次至本儀器進行實驗者,需事先清楚與技術人員討論試片製作方式與材料元素。
7. 實驗資料一律以光碟片攜回,請自備空白光碟片。

收費辦法及標準:
本儀器主要以AFM之服務為主。每日服務時間早上10:00~13:00,下午14:00~17:00。
1. 學術單位: 由國科會貴重儀器資訊管理系統進行預約,開機費1000元,操作時間一小時1000元,不足一小時以一小時計算。
2. 營利單位: 請直接與本儀器之技術人員聯絡預約,開機費2000元,操作時間一小時2000元,不足一小時以一小時計算。

預約注意事項:
1. 國科會計劃之貴儀使用費付費者,請至國科會貴儀中心網站預約。預約時間為每月20日中午1點,預約次月之實驗時段。
2. 一個計劃可預約兩個時段。
3. 預約者請在進行實驗當天,攜帶申請表格。
4. 若欲取消預約,請於使用日的7天前完成取消,否則需計基本使用費。
5. 預約時段而無故不到者,將自動扣該時段之基本使用費。
6. 預約者遲到30分鐘以上者,取消服務並扣該次時段費用。

放置地點:
學院
機械館517E室

 

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