XPS
高解析電子能譜儀（XPS）
【 High resolution X-ray Photoelectron Spectrometer 】
技術人員：周雍閎 同學 （05）2720411 轉23471
E-mail：zyonghong20@gmail.com
指導教授：陳靜誼 博士 （05）2720411 轉 33409
儀器概述：
儀器購置日期：2019年12月
經費來源：科技部、中正大學
型號：PHI Hybrid Quantera
Electron Energy Analyzer : 180º hemispherical Analyzer + 128 channel Detector
X-Ray Sources: Scanning X-ray Microprobe (Al anode)
Energy Resolution: Ag 3d5/2 of clean silver surface: FWHM < 0.48 eV
Imaging Resolution: ≤ 7.5 μm
Angle Resolved Analysis (ARXPS): 5 o to 90 o
服務項目：
XPS全能譜掃描 XPS survey
XPS單元素能譜圖 XPS High resolution scan
Angle resolved analysis
Sputter (清潔表面及縱深分析)
SXI二次影像截取(200μm-1200μm)
取樣應注事意項：
(1)、所有樣品均由本中心操作服務，請詳細填寫送測樣品使用申請表。
(2)、樣品不得具有毒性或輻射性或磁性。
(例如Fe、Co、Ni、Nb等具不成對d軌域電子之元素及 其化合物具磁性。)
(3)、樣品中若含有高揮發性分子，請務必先自行烘烤抽除。
(4)、樣品以非揮發性為限，避免對超真空系統造成污染。
(5)、〝粉末樣品〞如需代為壓錠，請準備多於約13 mm ~ 20 mm直徑大小圓的量(兩份)。
(6)、樣品置入預抽腔體內後在半小時內無法抽至9.710-7 Torr以下，及置入腔體內無法達到
1 10-7 Torr以下時，則退回該樣品，並酌收試片處理費用。
(7)、所有樣品面積必須小於 2 cm×2 cm，厚度小於 2.0 cm
(8)、每種樣品請送兩件，以供測試發生困難時之需。
(9)、分析測試時，若發現送測樣品不符合規定，將退回樣品並需依工作時數付費。
(10)、送測完成之樣品不歸還給送檢單位，且數據不作備份。
(11)、所得數據以PPT檔儲存，並以E-mail寄送。
收費辦法及標準：
(1)、XPS survey與XPS high resolution scan:非計劃操作每一小時3500元(未滿一小時以一小時計)，計劃操作每一小時450元
(2)、Sputter非計劃以每一小時收費1000元，計劃以每一小時收費100元
(3)、Angle resolved analysis 每小時加收1500元
(4)、開啟電子中和鎗非計劃一小時多加1000元，計劃以每一小時收費100元
(5)、SXI image二次影像截取100/張
(6)、代為壓錠一個樣品500元。
(7)、抽真空計時2小時 (以半小時的收費標準計價)
測量當天才將樣品送達抽真空，當天抽真空之樣品至少需抽2小時以上才能移入真空腔體。建議使用者提前送達樣品，不但節省經費也讓樣品在經過隔夜抽真空後能到達最佳真空度，也可避免測量當天因時間不足而難於完成測量。
預約注意事項：
(1)、請由 科技部貴重儀器資訊管理系統 預約。
(2)、開放一個計畫兩個序號預約，每個序號預約最多以8個樣品為限，依申請順序服務。
(3)、校外預約序號一個月以20個為限，若額滿就次序排到下一個月。校內預約序號一個月以10個為限，若額滿就次序排到下一個月。
(4)、請於預約完成成功後，儘速將樣品與送測樣品使用申請表一同寄達：
621 嘉義縣民雄鄉大學路168號國立中正大學化學工程系 陳靜誼 教授收。
(5)、有關數據結果之解釋，請自行負責。
(6)、預約本儀器後，請與技術人員接洽。
(7)、相關注意事項請參照取樣應注事意項。
(8)、XPS預約表單下載
放置地點：
工學院二館 化工館R202室